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<正>申请(专利)号:201710497154. X公开(公告)日:2019-01-04申请(专利权)人:清远先导材料有限公司摘要:本发明涉及一种特种气体的提纯工艺,包括如下步骤:S1、抽真空并用6N氦气置换整个提纯装置内的空气; S2、抽真空除去杂质组分; S3、原料气不断在分子筛柱与隔膜压缩机之间循环; S4、循环1～10分钟后,关闭隔膜压缩机,原料气进入加有液氮的冷凝器中; S5、原料气液化、凝固并抽真空精馏至少一次,然后熔化、汽化、收集至收集气瓶; S6、继