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为了进一步研究13．9nm类镍银和19．6nm类氖锗X射线激光，制备了工作在上述两个波长的Mo／Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计，将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近，以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源，组建了一套适合反射率测量的实验装置，利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率。测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量，结果显示，波长准确度是0．08nm，光源信号抖动范围〈5％，光源稳定性好。反射率测量结果显示，实验室能够制备出中心波长分别是1