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期刊论文
光声技术在电子器件中的应用
光声技术在电子器件中的应用
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hscyg
【摘 要】
:
综述了光声技术理论在电子器件中的应用,包括:测量热扩散率、表面缺陷、半导体掺杂浓度、厚度及研究表面电性质等.
【作 者】
:
黄黎红
【机 构】
:
莆田学院
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
光声技术
电子器件
光声效应
光声光谱
photoacoustic effectsphotoacoustic spectroscopyelectronic co
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综述了光声技术理论在电子器件中的应用,包括:测量热扩散率、表面缺陷、半导体掺杂浓度、厚度及研究表面电性质等.
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