MOVPE生长GaAs／AlxGA1—xAs超晶格及其TEM表征

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuchenyk

【摘要】

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报道用金属有机汽相外延技术(MOVPE)生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As超晶格结构材料及其光电器件应用,用横断面透射电子显微术(XTEM)表征外延层结构.在自电光效应光学双稳态器件(SEE

【作者】

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徐现刚黄伯标

【机构】

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山东大学晶体材料研究所,山东大学晶体材料研究所山东,济南,250100,山东,250100

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

1992年2期

【关键词】

：

MOVPE XTEM 半导体砷化镓 MOVPE GaAs/Al_xGa_(1-x)As superlattices XTEM interfaces s

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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报道用金属有机汽相外延技术(MOVPE)生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As超晶格结构材料及其光电器件应用,用横断面透射电子显微术(XTEM)表征外延层结构.在自电光效应光学双稳态器件(SEED)中,超晶格层-层之间界面清晰,厚度均匀,周期性完整.对某些用超晶格作缓冲层的高电子迁移率晶体管(HEMT)结构,观察到超晶格对生长面的平滑作用及间断生长造成的界面等.

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