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蒙特卡罗法模拟新型扫描电镜的工作原理
蒙特卡罗法模拟新型扫描电镜的工作原理
来源 :计算物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:antoney
【摘 要】
:
根据新型分析扫描电子显微镜的工作原理及载能电子束和固体相互作用原理,利用蒙特卡罗方法模拟入射电子和靶物质的相互作用过程,编制了蒙特卡罗模拟计算程序,获得了对应不同
【作 者】
:
蒋昌忠
李承斌
【机 构】
:
武汉大学
【出 处】
:
计算物理
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
蒙特卡罗方法
模拟计算程序
扫描电子显微镜
背散射电子
工作原理
Monte Carlo method
simulation program
scannin
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根据新型分析扫描电子显微镜的工作原理及载能电子束和固体相互作用原理,利用蒙特卡罗方法模拟入射电子和靶物质的相互作用过程,编制了蒙特卡罗模拟计算程序,获得了对应不同电镜工作参数的入射电子背散射率.
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