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研究了以4N铟、锡锭为原料，以25％氨水为沉淀剂，采用点滴法滴加氨水的方式来制备铟锡氧化物（ITO）纳米粉体的化学液相共沉淀法。考察了反应初始铟浓度、反应温度、反应终点pH值和前驱体老化时间对ITO粉体粒径的影响。运用X射线衍射（XRD）、差热-热重分析（DTA—TG）、透射电镜（TEM）、场发射扫描电镜（SEM）等检测手段对粉体进行了表征。在液相中加入1％的硅酸钠、反应温度为60oC、反应终点pH值为8、老化时间为2h、煅烧制度为4h、800℃的工艺条件下，所制得的ITO粉体具有立方晶系结构，粉体粒径在