【摘 要】
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针对透明导电材料领域里在廉价的普通玻璃衬底上沉积制备Zn O光电透明导电薄膜的问题,采用了新的制备方法,将玻璃基片清洗送入气相沉积反应室,向反应室内同时通入携带有Zn（CH2
【机 构】
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沈阳工程学院产业管理处,沈阳工程学院新能源学院,辽宁太阳能研究应用有限公司研发部
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针对透明导电材料领域里在廉价的普通玻璃衬底上沉积制备Zn O光电透明导电薄膜的问题,采用了新的制备方法,将玻璃基片清洗送入气相沉积反应室,向反应室内同时通入携带有Zn（CH2CH3）2的氩气和氧气,制备高透射率的Zn O透明导电薄膜。制备结束后在400℃高温高温环境下退火,形成性能优异的Zn O光电透明导电薄膜。该方法制备工艺简单,沉积过程易于控制,所制备的透明导电薄膜均匀性好,光电性能优异,可用于制造太阳能电池、发光二极管、LCD以及手机等光电器件的透明电极。
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