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叙述了工业上常见的四氟化硅制备和提纯工艺,四氟化硅制备即硫酸法、含硅物质和含氟物质合成法、氢氟酸法、氟硅酸盐热解法、氟硅酸盐法,提纯工艺吸附法、冷冻法、氟气法、氟化剂法和氟化氢法等,对制备、提纯原理和特点进行了比较分析.认为在满足环保、成本、工艺复杂性和能耗等条件下,优化发展一条成熟稳定工业化生产工艺,开发出能应用于太阳能电池、光纤行业、新一代芯片制造专用的高纯硅烷电子特气,对推动国内氟硅材料产业和信息产业技术的发展具有重要的意义.