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介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器，上层为双层结构电热驱动器，下层为硅Ⅴ型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板，通电后作为单稳态电热驱动器，盖板翘曲，放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件，对热驱动器部件的性能进行了分析与仿真。利用表面硅工艺和体硅工艺制备出核心驱动部分，检测盖板翘曲情况下性能。