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备件是半导体晶圆厂维持正常运转不可或缺的因素,研究一套有效的备件管理方法是晶圆厂维系正常生产的必要条件.文章从半导体制造企业的实际出发,分析晶圆厂备件管理所存在的主要问题,并探讨解决这些问题的对策以及科学高效的备件管理方法.
半导体晶圆厂备件管理方法探讨
【摘 要】
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备件是半导体晶圆厂维持正常运转不可或缺的因素,研究一套有效的备件管理方法是晶圆厂维系正常生产的必要条件.文章从半导体制造企业的实际出发,分析晶圆厂备件管理所存在的
【机 构】
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上海交通大学工业工程与物流工程系
【出 处】
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江苏科技信息（学术研究）
【发表日期】
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2004年期
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