【摘 要】
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目的 对单晶金刚石进行紫外激光加工,分析紫外激光对金刚石的辐刻效果。方法 在真空环境中,采用波长248 nm（KrF）、脉冲能量500-700 mJ、脉冲频率1-9 Hz、激光功率0.5-6.3 W的脉
【机 构】
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中国科学院大学,电子显微技术联合实验室,北京中科科仪科技股份有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金(50128790);中科院百人计划,科学院装备计划项目(yz201356);河北省科技计划项目(14291110D);北京市科委(Z151100003315024)~~
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目的 对单晶金刚石进行紫外激光加工,分析紫外激光对金刚石的辐刻效果。方法 在真空环境中,采用波长248 nm（KrF）、脉冲能量500-700 mJ、脉冲频率1-9 Hz、激光功率0.5-6.3 W的脉冲激光对单晶金刚石靶材进行了辐照,并采用光发射谱（OES）对辐照过程中产生的等离子体进行了诊断,采用扫描电镜（SEM）和拉曼谱（Raman）对辐照后的金刚石进行了表征与分析。结果 激光辐照后的金刚石发生了凿刻现象,激光的辐刻速率受脉冲频率的影响显著,存在一个频率阈值,使辐刻速率不再随脉冲频率和能量发生明显变
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