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期刊论文
光学材料微缺陷引起的损伤机理及后处理
光学材料微缺陷引起的损伤机理及后处理
来源 :中国工程物理研究院科技年报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bbdzj
【摘 要】
:
采用时域有限差分方法(FDTD)进行元件表面微结构电磁场分布的数值模拟;同时实验分析了化学湿法刻蚀对光学元件表面面形及粗糙度、激光损伤阈值等的影响。
【作 者】
:
柴立群
许乔
胡建平
周礼书
王毅
石琦凯
【出 处】
:
中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
损伤机理
光学材料
后处理
微缺陷
时域有限差分方法
激光损伤阈值
光学元件
电磁场分布
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采用时域有限差分方法(FDTD)进行元件表面微结构电磁场分布的数值模拟;同时实验分析了化学湿法刻蚀对光学元件表面面形及粗糙度、激光损伤阈值等的影响。
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