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<正>半导体工艺设备技术要求是该类招标文件的核心编写内容,是招标能否成功的关键。本文针对半导体工艺设备招标技术要求编写不完善、不清晰、不准确,造成中标半导体工艺设备不能完全匹配工艺技术及使用环境要求的现象,对相关要求编写方法进行了研究分析,并结合多年的实践经验,从正式编写招标技术要求前的准备工作、技术要求的构成要素、各要素的关键点、详细技术性能指标的体