运用有效介质理论模拟氧化钒薄膜的光学特性

来源 :第十七届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：naughty009

【摘要】

：

采用直流反应磁控溅射法在Si(100)基片上生长了厚度分别为14.9,34.1,57.6,70.0,83.4和101.7 nm的氧化钒薄膜.利用光谱式椭偏仪,并采用基于Bruggeman有效介质理论的Lorentz经典共振模型对所制备的薄膜的膜厚、折射率、消光系数进行了模拟和测量,实验表明薄膜厚度在(10～100) nm左右时,对应于633.18 nm测试波长,薄膜的折射率在1.9～2.9,消光系

【作者】

：

魏雄邦廖家轩吴志明蒋亚东

【机构】

：

电子科技大学电子科学技术研究所,四川成都611731 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

【出处】

：

第十七届全国高技术陶瓷学术年会

【发表日期】

：

2012年5期

【关键词】

：

氧化钒薄膜制备工艺光学特性有效介质理论

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