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在研究表面光整加工方法的基础上，提出了一种液流悬浮研抛加工的新工艺方法。研制了基于三坐标数控铣床的液流悬浮研抛试验系统，并对光学玻璃（K9）进行了液流悬浮研抛试验。对研抛过程进行了分析，探讨了脆性材料的去除机理，即在磨粒冲击和剪切作用下，工件表面是以冲击和剪切的塑性去除方式加工的。试验结果表明：利用液流悬浮SiC纳米磨料研抛的方法可以实现光学玻璃的纳米去除和超光滑表面加工。