基于Labview技术的光度式椭偏测厚仪的研究与设计

来源 :电子器件 | 被引量 : 2次 | 上传用户：zyhpeter2011

【摘要】

：

本文介绍了一种基于Labview的光度式椭偏仪光学测量系统,用于进行透明薄膜厚度的精确测量.研究并推导出该系统的数学模型及椭偏参数的计算公式.基于C8051F020单片机设计出椭偏仪的控制器并使用Labview编写了测量软件.在测量软件中嵌入MatlabScript节点,完成复杂运算.通过对SiO2薄膜的测试,验证了仪器具有良好的可靠性和重复性,薄膜厚度误差小于100A。,折射率误差小于0.01.

【作者】

：

张牧张诚陈才和王金海张波岳泉

【机构】

：

天津工业大学,天津大学精密仪器与光电子工程学院

【出处】

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电子器件

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

椭偏仪光度法虚拟仪器Labview C8051F020 ellipsometer photoelectric analysis virtual in

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