射频磁控溅射ZrW2O8薄膜的高温退火研究

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yufs80131234

【摘要】

：

采用ZrW2O8陶瓷靶材,以射频磁控溅射法在不同基片上沉积制备ZrW2O8薄膜。利用X射线衍射（XRD）仪和扫描电子显微镜（SEM）研究靶材性能和退火温度、气氛以及基片对薄膜的相组成、表面

【作者】

：

刘红飞张志萍程晓农

【机构】

：

江苏大学

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2009年7期

【关键词】

：

钨酸锆薄膜磁控溅射退火负热膨胀 ZrW2O8 thin film magnetron sputtering annealing negative

【基金项目】

：

基金项自：国家自然科学基金项H（50372027）,江苏省高校自然科学重大基础研究项目（06KJA43010）：江苏大学博士创新基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用ZrW2O8陶瓷靶材,以射频磁控溅射法在不同基片上沉积制备ZrW2O8薄膜。利用X射线衍射（XRD）仪和扫描电子显微镜（SEM）研究靶材性能和退火温度、气氛以及基片对薄膜的相组成、表面形貌的影响。结果表明：ZrW2O8靶材具有较高的纯度和致密度,磁控溅射制备的薄膜为非晶态,在730℃左右通氧条件下退火后得到择优生长的ZrW2O8薄膜在750℃左右退火得到三方相ZrW2O8薄膜在1200℃密闭的条件下淬火得到立方相ZrW2O8薄膜在15到700℃温度区间内,制备的立方相ZrW2O8薄膜负热膨胀系数

其他文献

深度老龄化对我国劳动就业的潜在影响

对我国就业人口现状，2000—2010年城市、城镇、乡村人口就业速度，我国三大产业就业人口变化及人口年龄组劳动参与率变化的研究表明：若退休年龄不变，2030年我国潜在劳动力将比2010

期刊

老龄化潜在劳动力就业人口退休年龄同批人理论Aging Potential Labor Force Employment Population R

3D打印在电网设备结构设计与制造中的应用概述

介绍了电网设备设计的结构快速原型、拓扑优化和逆向建模等设计输出的特点和制造需求,阐述了3D打印在电网设备制造中的工艺可行性和经济可行性,指出了现有打印技术存在打印精

期刊

电力设备3D打印快速原型设计拓扑优化逆向建模三维扫描power equipment3D Printingrapid prototype de

滚针摆动弹流润滑试验机设计

针对低速摆动工况,设计了一种可测量大长径比滚针弹流润滑油膜的试验机。介绍了试验机的工作原理及其机械结构、光学系统、传动机构和加载系统的设计。为在滚针非匀速运动过

期刊

大长径比滚针试验机匀速运动large lengthen-diameter ratio needle roller test machine uni

基于M-ary SVM的电力电子电路故障诊断方法研究

将基于M-ary支持向量机的故障诊断方法应用到电力电子电路的故障诊断中。利用小波变换和Concordia变换提取电力电子电路故障信息,运用几种典型的故障诊断方法和Mary SVM对电

期刊

电力电子电路故障诊断M-ary支持向量机power electronic circuit fault diagnosis M-ary SVM

Al2O3改性的渗铬涂层制备与氧化性能研究

采用在Ni基上复合电镀Ni—Al2O3纳米复合涂层后在1100℃扩散渗铬3h的方法，制备Al2O3改性的渗铬涂层。作为对比，采用相同的工艺在单Ni镀层上直接渗铬，获得一种不含Al2O3纳米粒子

期刊

复合电镀渗铬高温氧化coelectrodeposition chromizing high temperature oxidation

上海漕河泾开发区“服务集成平台”正式启动

腾讯已将行政、后勤等非主营服务业务外包给上海漕河泾开发区办理，星巴克咖啡店将随漕河泾开发区发展同步延伸，原先用于员工用餐、区内商户消费的“漕河泾一卡通”也将被升级版

期刊

开发区漕河集成平台服务上海业务外包合作协议一卡通

射频磁控溅射ZrW2O8薄膜的高温退火研究

其他学术论文