EUV Optical Design- Reflective and Diffractive Optics

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WANGBING0425
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
This article describes the task of optical designers to achieve a better design. This is followed by some discussions on the necessity of total design that takes all the elements into account from its light source to the final image plane. Methods are giv
其他文献
21世纪经济全球化和全球竞争水平的提高使企业处在多变的市场环境中,经济环境的变化、政治及政府政策的变化等等都会对企业带来一定的影响,只有适应能力强的企业,才能在变化中立
分析了煤气CO变换工段中催化剂的特点及在装填、还原、使用和再生过程中的保护.
AGPS定位过程中需要一个辅助定位服务器向终端提供所需的辅助定位信息,设计实现了一个用于终端开发的辅助定位服务器。明确了辅助定位服务器的组网方式和外部接口,基于国际标准,结合实际算法确定了服务器的输出信息格式。设计了初步的实现方案,在Visual Studio 2005环境下使用C#语言实现了该方案。为了解决辅助定位服务器在接收端发送辅助定位请求的间隔小于4s时所出现的死机现象,以及由此导致的不能
在对黑龙江省装备制造业工艺创新能力现状进行分析的基础上,归纳黑龙江省装备制造业工艺创新能力存在的问题,并针对具体问题提出提升黑龙江省装备制造业工艺创新能力的对策建议
从三轨法D-InSAR基本原理和数据处理流程出发,分析讨论了相位测量误差对三轨法D-InSAR形变测量精度的影响,详细给出了相位测量误差对三轨法形变测量影响的定量关系式。从定量分析中可以看出,基线比是造成相位测量误差对三轨法形变测量精度影响的一个关键因素,同时,卫星视角也是影响三轨法形变测量的一个比较重要的因素。
针对往复压缩机的故障特征,开发了往复压缩机在线状态监测和故障诊断系统,压缩机的状态参数:汽缸内的工作压力、工作温度、振动、转速、活塞杆下移等可以进行在线监测和通过网络
本文对我厂的轴、转鼓类零部件的磨损、腐蚀状况的原因分析、修复方法比较及最终选定、修理方案的制定和结果检验展开论述,明确激光仿形熔铸技术应用与推广的价值.
本文从高斯光束的传输理论出发,对8×8MOEMS阵列光开关的光路进行了分析.这种光开关的反射镜尺寸与插入损耗(简称插损)密切相关.为了降低插损并且达到准直长度的要求,对相关参数进行了优化选择.此外,开关中光纤、球透镜以及微反射镜之间的位置及角度偏移均会使插损大大增加,采用自对准技术和凸角补偿方法可以有效提高各个器件之间的对准效果,降低插损[1].
本文介绍了尿素合成塔内外部缺陷产生的主要原因及修理方法。提出了在尿塔制作、检修、使用等方面应当注意的问题。
采用镀膜和光刻技术设计并制备出了2种衬底厚度不同的Y孔单元和Y环孔单元的FSS,在0°和45°入射角下分不同的极化波进行了测试,经对比研究发现,在大角度入射下Y环单