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关于半导体芯片切割加工品质的评价方法分析
关于半导体芯片切割加工品质的评价方法分析
来源 :科技经济导刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eagle453
【摘 要】
:
以半导体芯片为对象,首先分析了评价其切割加工品质的常用方法,探讨了开展芯片切割实验所需要的条件,指出了具体的实施方法,最后就实验结果作深入分析,望能为此领域研究有所
【作 者】
:
李涛
【机 构】
:
杭州士兰集成电路有限公司;
【出 处】
:
科技经济导刊
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
半导体芯片
切割加工
评价方法
品质
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以半导体芯片为对象,首先分析了评价其切割加工品质的常用方法,探讨了开展芯片切割实验所需要的条件,指出了具体的实施方法,最后就实验结果作深入分析,望能为此领域研究有所借鉴。
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