总剂量辐照加固的PDSOI CMOS 64k静态随机存储器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yongshuai520
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在国内首次使得1.2μm部分耗尽SOI 64k静态随机存储器的抗总剂量能力达到了1×10^6 rad(Si),其使用了SIMOX晶圆. 在-55~125℃范围内,该存储器的数据读取时间几乎不变.在经过剂量为1×10^6 rad(Si)的总剂量辐照后,该存储器的数据读取时间也几乎不变,静态功耗仅从辐照前的0.65μA变化为辐照后的0.8mA,远远低于规定的10mA指标;动态功耗仅从辐照前的33mA变化为辐照后的38.1mA,远远低于规定的100mA指标.
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