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使用四极质谱仪对小型TEA CO_2激光器作了寿命过程的质谱分析。直接测出了寿命过程中输出能量与各种气体成分变化的对应关系。
小型TEA CO2激光器寿命过程的质谱诊断
【摘 要】
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使用四极质谱仪对小型TEA CO_2激光器作了寿命过程的质谱分析。直接测出了寿命过程中输出能量与各种气体成分变化的对应关系。
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1992年5期
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