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论述了特种气体在集成电路、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光纤预制棒等电子行业中的应用,并就其使用安全提出了建议。
特种气体在电子行业中的应用
【摘 要】
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论述了特种气体在集成电路、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光纤预制棒等电子行业中的应用,并就其使用安全提出了建议。
【机 构】
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上海正帆超净技术有限公司
【出 处】
：
低温与特气
【发表日期】
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2009年02期
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