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多孔硅（ｐｏｒｏｕｓ Ｓｉｌｉｃｏｎ）是指通过对氢氟酸溶液中的晶体硅片进行阳极氧化，在硅衬底上形成的多孔态的硅材料．本文介绍了多孔硅的形成规律和结构形貌，并对其光学性质和形成机制仆行了简要的评介，最后以多孔硅在大规模集成电路中的应用为主讨论了它的技术应用．
多孔硅——一种新形态的硅材料
【摘 要】
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多孔硅（ｐｏｒｏｕｓ Ｓｉｌｉｃｏｎ）是指通过对氢氟酸溶液中的晶体硅片进行阳极氧化，在硅衬底上形成的多孔态的硅材料．本文介绍了多孔硅的形成规律和结构形貌，并对其光学性质和形成机制仆行了简要的评介，最
【机 构】
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北京大学物理系,北京大学人工微结构与介观物理国家重点实验室
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1992年8期
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