中医用高精度阵列脉搏传感器的设计

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：askkwr

【摘要】

：

提出了一种可以把脉搏压力信号直接转换为电流信号输出的高精度阵列脉搏传感器.采用牺牲层法加工晶体管的栅极与CMOS工艺具有良好的兼容性.对传感器栅电容和输出电流进行测试

【作者】

：

淮永进韩郑生

【机构】

：

中国科学院微电子研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2008年4期

【关键词】

：

阵列传感器压力传感器 MOSFET栅线性度 array senor pulse senor MOSFET gate linearity

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

提出了一种可以把脉搏压力信号直接转换为电流信号输出的高精度阵列脉搏传感器.采用牺牲层法加工晶体管的栅极与CMOS工艺具有良好的兼容性.对传感器栅电容和输出电流进行测试,在1.5-9.5kPa的动态范围,传感器电容的灵敏度约为0.5fF/hPa;传感器输出电流与压力呈现较好的线性和指数特性.分析结果表明MOS栅面积的改变对压力-电流响应曲线的线性度有一定影响.

其他文献

论中国传统文化对中国近代科技的作用

中国是有着悠久历史的世界文明古国之一,15世纪的明代中叶以前,中国的科技都远远领先于同时期的世界其他各国,中国的四大发明对世界历史影响巨大。16世纪开始,以英国为代表的

期刊

中国传统文化中国近代科技作用

基于C#实现城市轨道交通线路辅助设计

城市轨道交通线路的设计工作受各种制约条件控制。实践证明,人工分析内外部制约条件、各专业技术要求等因素,所形成城市轨道交通线路制约条件各数据成果文件,需要耗费大量精

期刊

城轨线路C#编程VISUALSTUDIOAUTOCAD辅助设计urban railway routeC#compiling procedurecom

1nm／s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术，在相对较高气压和较高功率条件下，制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料，材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大，通过对材料的电学特性和结构特

期刊

甚高频等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜太阳电池高沉积速率化学气相沉积技术very high frequency plasma enhanced che

用于1．25GHz Serdes的低时钟抖动的环振的设计

设计了一种新的用于电压控制振荡器的延迟单元，并与源级耦合差分延时单元的时钟抖动进行了比较．提出了基于低时钟抖动的锁相环环路参数的优化技术．在0．35μm CMOS工艺下进行1．25GH

期刊

低时钟抖动环振电源噪声抑制串并-并串转换Serdes voltage controlled ring oscillator low jitter

中医用高精度阵列脉搏传感器的设计

其他学术论文