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研究高Tc超导薄膜的低温扫描电子显微镜
研究高Tc超导薄膜的低温扫描电子显微镜
来源 :低温工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tjhaixin2
【摘 要】
:
采用减压降温原理研制了以液氮为冷媒的低温样品台系统,并配以电子束脉冲调制系统和微弱信号检测系统,构成了低温扫描电子显微镜。温度范围从65K至室温连续可控变化,温度稳定度为&#
【作 者】
:
李刚
戴道扬
余健业
王建波
麦振洪
张亮
李宏成
王瑞兰
【机 构】
:
中国科学院低温技术实验中心,中国科学院物理研究所,中国科学院科学仪器厂
【出 处】
:
低温工程
【发表日期】
:
1994年5期
【关键词】
:
低温
扫描电子显微镜
高Tc超导簿膜
low temperature
Scanning electron microscope
Hlgh-Tc superco-
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采用减压降温原理研制了以液氮为冷媒的低温样品台系统,并配以电子束脉冲调制系统和微弱信号检测系统,构成了低温扫描电子显微镜。温度范围从65K至室温连续可控变化,温度稳定度为±0.1K。并介绍了用此装置研究GdBa2Cu3O7-X超导薄膜的初步情况。
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