线光栅扫描实现衍射图形的矢量化直写

来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:popwoool20
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在双光束激光直写系统中,衍射光变图像的光刻是逐像素点进行的.本文提出在该系统中采用狭缝获得光栅线来进行衍射图形的直写,利用一种改进的矢量文件格式,使平台沿着垂直光栅线的方向运动,获得连续的多光点同时直写,直写后的衍射光栅线是连续的,系统的运行效率是逐点光刻的几十倍.编写了与DXF文件的接口直写控制程序,给出了实验结果.
其他文献
随着教育信息化的快速发展,如何运用信息化手段激发高职院校学生的学习兴趣,提高教学效果,需要教师不断探索,合理进行教学设计。本文以中药鉴定技术课程为例,从教学分析、教
目的分析超声引导下骶髂关节腔内注射治疗骶髂关节炎的临床疗效、成功率及术后并发症发生情况。方法选取四川省医学科学院于2013年10月至2016年10月收治的骶髂关节炎患者80例
目的探讨传染病护理课程立体化教材的建设与应用效果。方法基于校内网络教学平台建设传染病护理课程立体化教材,研究组(69名学生)采用基于立体化教材的多媒体网络教学法,对照
目的探讨翻转课堂在基础医学概论教学中的应用效果以及对学生能力培养的效果。方法采用实验对照方法,选取南京中医药大学2016级英语专业学生作为研究对象。随机抽取一个班设