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介绍一种新的共光轴激光非接触位移传感器 ,具有克服安装倾斜、表面纹理变化不利影响的特点 ;利用光学球差光学平均改善光斑分布均匀性 ;其微小的光触针 (1μm)以及高速绝对测量的优点适合于曲 (线 )面的快速测量以及在线测量。
适于在线测量的激光位移传感器
【摘 要】
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介绍一种新的共光轴激光非接触位移传感器 ,具有克服安装倾斜、表面纹理变化不利影响的特点 ;利用光学球差光学平均改善光斑分布均匀性 ;其微小的光触针 (1μm)以及高速绝对测量的优点适合于曲 (线 )面的快速测量以及在线测量。
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2002年05期
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