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在考虑硅原子团簇的尺寸对其俘获半径的影响的基础上提出了一个改进的模型，来描述团簇的退火行为，并给出了点缺陷的表面复合速率的表达式．为了验证此模型，给出了动力学蒙特卡洛方法的模拟结果，模拟结果与实验结果相吻合．通过表面复合速率的模拟结果和模型的对比，模型得到了验证．分析表明团簇尺寸对其退火行为有明显的影响．