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文章提出了一种以衍射光栅为基准件的二维纳米位移测量系统，阐述了系统的组成和光路结构．分析了系统的测量原理。最后利用Lighttools软件对系统的光学结构进行仿真设计，研究系统干涉信号的变化规律，为后续的光路优化和误差补偿提供了理论模型。
二维光栅纳米位移测量系统的设计与分析
【摘 要】
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文章提出了一种以衍射光栅为基准件的二维纳米位移测量系统，阐述了系统的组成和光路结构．分析了系统的测量原理。最后利用Lighttools软件对系统的光学结构进行仿真设计，研究系统
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2012年4期
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