【摘 要】
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复合型透明导电膜ITO/Ag/ITO是一种极具发展潜力的高性能透明导电膜,其导电性远高于传统透明导电材料氧化铟锡(ITO),同时可大幅节约ITO膜中的稀缺元素In。文章阐述了ITO/Ag/I
【机 构】
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山东建筑大学材料科学与工程学院,寿光润城建材有限公司
【基金项目】
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山东省引进国外智力项目(L37002013098);济南市高校院所自主创新计划项目(201303067)
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复合型透明导电膜ITO/Ag/ITO是一种极具发展潜力的高性能透明导电膜,其导电性远高于传统透明导电材料氧化铟锡(ITO),同时可大幅节约ITO膜中的稀缺元素In。文章阐述了ITO/Ag/ITO复合膜的设计原理及其设计中存在的问题,分析了ITO/Ag/ITO结构中底层ITO膜、外层ITO膜和Ag膜在膜系结构中的作用及其对ITO/Ag/ITO光学和电学性能的影响,阐明了Ag膜对ITO/Ag/ITO光学和电学性能的决定性作用,综述了对Ag膜进行退火处理、添加其他金属元素、引入超薄层等提高Ag膜沉积质量和性能的方法,展望了高性能ITO/Ag/ITO复合透明导电膜今后的研究方向。
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