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提出了一种新型的硅微陀螺仪闭环控制策略．所设计的硅微陀螺仪工作在10Pa，采用金属壳CAN封装形式，驱动和检测两模态品质因素高达10000以上，且都采用了基于静电力反馈方法实现闭环．驱动模态采用单边驱动单边检测，尽量使线路简化；检测模态采用双重分解和重构闭环回路．测试结果表明：有用信号和正交信号实现很好的相位解耦，互不影响；在满量程±300（°）／s、标度因素9．6mV／（（°）·s）的情况下，零偏稳定性已达到28（°）／h；非线性度达到400×