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根据热传导真空计原理,利用半导体的感温特性制成一种新的测量真空度的半导体传感器真空规管,并将它作为测量电桥的一臂对该规管的真空性能进行了试验。结果表明,此种新型规管在760～10~(-5)托压强变化范围内有较高的灵敏度,可望作为测量从粗真空到高真空宽量程的真空规管。
半导体传感器在真空测量技术上的应用
【摘 要】
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根据热传导真空计原理,利用半导体的感温特性制成一种新的测量真空度的半导体传感器真空规管,并将它作为测量电桥的一臂对该规管的真空性能进行了试验。结果表明,此种新型规管在760～10~(-5)托压强变化范围内有较高的灵敏度,可望作为测量从粗真空到高真空宽量程的真空规管。
【出 处】
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合肥工业大学学报
【发表日期】
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1984年01期
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