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根据SIM和AFM的扫描原理,通过CAM设计了一种过载保护装置,使STM和AFM在测试过程中,对超过测试高度的样品停止退针,以免损坏仪器,弥补了仪器设计的不足.
基于CAM的STM和AFM的一种过载保护装置研究
【摘 要】
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根据SIM和AFM的扫描原理,通过CAM设计了一种过载保护装置,使STM和AFM在测试过程中,对超过测试高度的样品停止退针,以免损坏仪器,弥补了仪器设计的不足.
【机 构】
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天津大学机械学院力学系,天津大学燃烧学国家重点实验室
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2005年1期
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