【摘 要】
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设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于MEMS技术制作的微型电场传感器.该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状,在使用时可以将其中的两个用作驱动,另外两个作
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于MEMS技术制作的微型电场传感器.该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状,在使用时可以将其中的两个用作驱动,另外两个作为振动检测电极,监控振动情况.传感器的支撑结构可以限制振动幅度,使传感器在脉冲信号驱动下也能稳定工作.因此该电场传感器除了具备其它微型电场传感器的优点以外,还可以根据应用场合的需要选择不同的驱动模式.从而可以根据具体应用的要求,使用较简单的测试系统减轻重量,或使用较复杂的测试系统提高测试的精度和稳定性.本文介绍了此种传感器的结构,工作原理以及
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