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针对亚微米级及亚微米级以下的光学硬脆性非球面器件难加工问题 ,分析了光学非球面的形状精度和应用 ,讨论了其超精密加工原理和方法及非接触检测手段 .结果表明 ,精密数控机床、硬脆性材料延性域加工原理和超精密检测是光学非球面超精密加工的技术保证
光学非球面的超精密加工技术及非接触检测
【摘 要】
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针对亚微米级及亚微米级以下的光学硬脆性非球面器件难加工问题 ,分析了光学非球面的形状精度和应用 ,讨论了其超精密加工原理和方法及非接触检测手段 .结果表明 ,精密数控机
【机 构】
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华南理工大学机械工程学院
【出 处】
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华南理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年02期
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