等离子体离子能量自动分析器的研制和应用

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【摘要】

：

为了快速获得等离子体离子能量的分布规律 ,研制了一套等离子体离子能量自动分析器 .离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成 .利用离子能量自动分析器在

【作者】

：

吴先球陈俊芳蒋珍美熊予莹吴开华任兆杏

【机构】

：

华南师范大学物理系,中国科学院等离子体物理研究所

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

2003年02期

【关键词】

：

离子能量分布器件损伤自动能量分析器 ECRPECVD

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为了快速获得等离子体离子能量的分布规律 ,研制了一套等离子体离子能量自动分析器 .离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成 .利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为 12～ 4 2eV ,不存在对被加工的半导体器件表面产生损伤的高能离子 ,从而ECR等离子体技术适合于在半导体器件加工中应用

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