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提出了一种基于复合工作液的、以电火花电解复合加工技术对太阳能硅片进行切割的工艺方法。试验表明，高速走丝电火花线切割对太阳能硅片切割具有效率高、切缝窄、厚度薄且表面微裂纹很少甚至没有等特性。该工艺方法可为探索降低硅片的切割成本，提高硅材料的利用率，促使太阳能电池成本的显著降低，形成具有我国自主知识产权的太阳能硅片切割技术提供一些帮助。