基于四大先验特征的多类型线宽测量方法

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提出了基于四大先验特征的线宽自动测量方法,将各类导线的边缘特征归纳为四大类。设计了三种自动切换的测量方法,通过预先分析导线的边缘特征并归类,再选用对应的测量方法测量。经验证导线的线宽测量,重复测量精度在2?m以内。
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