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基于四大先验特征的多类型线宽测量方法
基于四大先验特征的多类型线宽测量方法
来源 :印制电路信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ruoling863
【摘 要】
:
提出了基于四大先验特征的线宽自动测量方法,将各类导线的边缘特征归纳为四大类。设计了三种自动切换的测量方法,通过预先分析导线的边缘特征并归类,再选用对应的测量方法测
【作 者】
:
郑臣
侯志松
敖荟兰
龙庆文
张宇
【机 构】
:
广东正业科技股份有限公司
【出 处】
:
印制电路信息
【发表日期】
:
2016年5期
【关键词】
:
先验特征
多类型
线宽测量
自动切换
Transcendental Characteristics
Multi-Type
Line Width Measur
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提出了基于四大先验特征的线宽自动测量方法,将各类导线的边缘特征归纳为四大类。设计了三种自动切换的测量方法,通过预先分析导线的边缘特征并归类,再选用对应的测量方法测量。经验证导线的线宽测量,重复测量精度在2?m以内。
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