论文部分内容阅读
文章建立了直接测定半导体二级40％含量氢氟酸（CMOSII40％-HF）多元素含量的方法。以膜去溶作为进样系统，电感耦合等离子体质谱仪（ICP—MS）作为分析仪器，分别采用热焰和冷焰模式分析，首先测定CMOSII40％-HF，然后测定以Be、Co、In和Bi作为加标的CMOSII40％-HF，加标样品测定加标回收率，同时测定Na、Mg、K、Ca和Fe的检出限。实验结果证明该方法具有进样速度快、精密度高等优点，冷焰模式降低了Na、Mg、K、Ca和Fe的检出限，同时降低了CMOSII40％-HF的检出下限，提