论文部分内容阅读
扭摆式硅微加速度计是一种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件 ,在许多领域都有极其广泛的应用 ,是当今微米 /纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成 ,分析了工作机理 ,探讨了提高灵敏度的途径 ,最后给出了制造工艺和测试结果。
扭摆式硅微加速度计的研究
【摘 要】
：
扭摆式硅微加速度计是一种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件 ,在许多领域都有极其广泛的应用 ,是当今微米 /纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成 ,分析了工
【机 构】
：
东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
：
仪器仪表学报
【发表日期】
：
2000年01期
【基金项目】
：
国防科技预研基金
其他文献
从患暴发病的克氏原螯虾(Procambarus clarkii)的肝胰腺中分离到3株细菌。人工注射感染显示,KSAX-3分离菌在浓度107cfu/mL时可使95%以上健康克氏原螯虾死亡;在106cfu/mL浓度
本研究采集分离获得云南昭通、丽江、曲靖马龙和昆明团结乡等苹果产区的苹果树腐烂病病斑上分离得到分离物,从中选取不同地点、在PDA培养基上不同性状的18个分离株作为研究对
<正>历史事件是指历史上发生的相对独立的事情,具有一定的情节和过程。历史事件由一些历史要素组成,这些历史要素主要有原因、背景、时间、人物、地点、经过、结果、影响、意
任何使用发动机或移动的物体都必定会因为各种不同的带电过程而带上静电,因此可以通过测量物体周围静电场感知物体及其运动方向。设计了基于现场可编程门阵列(FPGA)的静电测
越南地处热带,光照充足,雨量充沛,特别适合甘蔗生长。甘蔗是越南最重要的糖料作物,近年来全国种植甘蔗面积约30万hm2,甘蔗总产已超过2000万t。以越南农业统计资料和越南统计
在房地产业迅速发展的30余年时间内,虽然房地产业在推动城市建设、改善国民居住条件、增加政府财税收入等方面发挥了重大作用,但是伴随出现的房地产投资过热、房地产泡沫、房
<正>2010年江苏物理试题很好地体现了"有利于高等学校选拔优秀学生、有利于中学推进素质教育和课程改革,有利于考试公平、公正、科学、规范、安全"的命题原则,在充分考虑了中
党的十八大胜利召开以后,以习近平同志为首的党中央发出了实现"中国梦"的号召。作为宝贵的人才资源和民族的未来,大学生需要具备较高的综合素质才能承担起历史所赋予的责任,
针对DC/DC变换器电路级故障预测问题,研究能反映变换器整体性能退化状况的故障特征参数,并提出基于DC/DC变换器特征参数退化的故障预测方法。首先,分析变换器中关键元器件的