【摘 要】
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目前,导电涂层已广泛应用于工业领域。如采用溅射技术在LCD或OLED平板加工过程中涂布ITO层,以及在电子印刷器件基材表面制备基极层。然而,传统涂布工艺（电子束溅射、旋转涂布
【机 构】
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NanoMechanicalSystemResearchDivision,SchoolofMechanicalEngineering,不详
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目前,导电涂层已广泛应用于工业领域。如采用溅射技术在LCD或OLED平板加工过程中涂布ITO层,以及在电子印刷器件基材表面制备基极层。然而,传统涂布工艺（电子束溅射、旋转涂布等）在工业生产中存在一些问题：这些工艺不仅成本高,而且需要真空等苛刻的生产环境。近年来,研究人员已经提出用各种印刷工艺来替代传统的涂布工艺。本文提出将静电喷雾沉积（ESD）印刷工艺应用于ITO涂层和导电涂层的制备。此外,为了更好地应用静电喷雾沉积工艺,本文也研究了喷嘴和外加电压对不同类型喷头的影响。
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