In situ luminescence measurement of 6H-SiC at low temperature

来源 :中国物理B:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：akajewelz

【摘要】

：

To understand the evolution of defects in SiC during irradiation and the influence of temperature,in situ luminescence measurements of 6H-SiC crystal samples we

【作者】

：

仇猛淋殷鹏王广甫宋纪高罗长维王庭顺赵国强吕沙沙

【机构】

：

KeyLaboratoryofBeamTechnologyofMinistryofEducation,BeijingRadiationCenter

【出处】

：

中国物理B:英文版

【发表日期】

：

2020年4期

【关键词】

：

ION BEAM induced LUMINESCENCE 6H-SIC temperature

【基金项目】

：

Project supported by the Young Scientists Fund of the National Natural Science Foundation of China(Grant No.11905010),the Fundamental Research Funds for the Central Universities,China(Grant No.2018NTS

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To understand the evolution of defects in SiC during irradiation and the influence of temperature,in situ luminescence measurements of 6H-SiC crystal samples were carried out by ion beam induced luminescence(IBIL)measurement under2 MeV H^+ at 100 K,150 K,

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