前侧或后侧受光照的HgCdTe探测器:红外CCD焦平面列阵的一种新结构

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一种前后两面对称的新器件,可在一面进行探测,而另一面形成电极。这种新器件的制作方法与经典的HgCdTe制作工艺相接近。用这种新型的对称两面结构制作的二极管,其性能和生产成品率完全可与常用的HgCdTe列阵相比。未来红外系统(热成象、制导或监测)的信号探测,极有可能以焦平面探测器列阵的实 A new device with two front and rear bilayers that detects on one side and an electrode on the other. This new device is made in the same way as the classic HgCdTe process. Diodes made with this new type of symmetrical two-sided structure are fully comparable in performance and production yield to the popular HgCdTe arrays. The future of infrared system (thermal imaging, guidance or monitoring) signal detection, most likely to focal plane detector array of real
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