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广东番禺地区工程地质特征
【出 处】
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广东地质
【发表日期】
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1992年3期
其他文献
研究了不同气氛(N2、O2、Ar)下高温快速热处理(RTP)对热施主形成和消除特性的影响．研究发现无论在何种气氛下进行高温RTP，对热施主的形成均无影响．扩展电阻的分析结果表明，热施主
设计并制备出两种新型电热驱动微型静电场传感器.一种利用了V型梁阵列作为驱动结构,另一种引入了位移放大机构.针对传感器的弱电流输出信号,建立了基于锁相放大器的测试系统对两种传感器的输出信号进行检测.测试结果表明,两种传感器都具有线性的输出特性,且带有位移放大机构的电场传感器具有更高的灵敏度.