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综述了近些年来国内外半导体检测的光学技术研究的最新进展。重点阐述了基于光声光热效应的半导体检测技术的最新发展动态,其中分别对光热偏转（PTD）、光热调制反射（PMTR）、光热辐射（PTR）、光生载流子辐射（PCR）进行了详细介绍,最后提出了半导体检测技术的发展方向。
激光诱导的光热技术在半导体检测中的应用
【摘 要】
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综述了近些年来国内外半导体检测的光学技术研究的最新进展。重点阐述了基于光声光热效应的半导体检测技术的最新发展动态,其中分别对光热偏转（PTD）、光热调制反射（PMTR）、光热辐
【机 构】
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电子科技大学光电信息学院
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2009年3期
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