【摘 要】
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为实现纳米级的定位精度,通过精密控制电机定/动子间的正压力和相对运动速度,以实现电机在一个周期内的精密步进运动。首先,在研究电机步进运动原理的基础上,设计了具有法向
【机 构】
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盐城工学院机械工程学院,广州大学机械与电气工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51405420,51375224,51805465);江苏省自然科学基金资助项目(BK20140474);江苏省高校优秀中青年教师和校长境外研修计划资助项目;江苏高校“青蓝工程”资助人才项目(苏教2018-12)
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为实现纳米级的定位精度,通过精密控制电机定/动子间的正压力和相对运动速度,以实现电机在一个周期内的精密步进运动。首先,在研究电机步进运动原理的基础上,设计了具有法向振动框特征的驱动足结构,可以获得驱动端法向振动和切向振动的独立解耦特性;其次,利用有限元法对定子驱动足进行了参数优化设计,获得了定子驱动足的主要结构尺寸;最后,制作电机样机并进行了定子振动特性实验和电机特性实验。定子振动特性实验结果表明:该电机在1~400Hz范围内能够使得驱动阶段和回程阶段具有不同的运动特性,上述两个运动阶段的动子运动位移差即
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