高功率中红外半导体碟形激光器的进展

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短波长高性能激光器用途广泛,包括中红外光谱范围在1.9~2.5μm的远距离通信、大气遥感、大气污染检测。然而,满足该性能特点的简洁高效的激光光源尚未利用。在过去几年,主要的进展集中在发展光泵浦(AlGaIn)(AsSb)量子阱半导体碟形激光器上,发射波长为2.xμm的中红外谱区,连续输出功率超过6W,脉冲功率超过16W。此外,单频工作线宽<4MHz,调谐宽度高达170nm,光束质量接近衍射极限。这些优异的性能只有通过高质量的外延生长、合理的器件设计、高效的热处理才能得以实现。 Short wavelength high performance lasers are used in a wide range of applications including long range communications with mid-infrared spectral range of 1.9-2.5 μm, remote sensing of the atmosphere and detection of atmospheric pollution. However, the simple and efficient laser light source that satisfies the performance characteristics has not been utilized yet. In the past few years, major advances have been focused on the development of AlGaIn (AsSb) quantum well semiconductor dish lasers emitting a 2.xμm mid-infrared spectral region with continuous output power of over 6W and pulsed power over 16W . In addition, single-frequency linewidth <4MHz, tuning width up to 170nm, the beam quality close to the diffraction limit. These excellent properties can only be achieved by high-quality epitaxial growth, reasonable device design and efficient heat treatment.
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