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设计和分析了一种可调硅基混合表面等离子体相位调制器。表面等离子体的引入打破了衍射极限的限制,使光场局域在一个纳米尺寸范围。该调制器的实现采用了两种原理：硅材料的等离子体色散效应以及聚合物的电光效应。由于器件结构的电容和寄生电阻较小,RC响应时间为3.77ps,调制带宽大约100GHz。当外加2.5V的驱动电压时,该调制器的功耗为0.9mW（相当于9fJ/bit）。光相位调制器在光通信和光互联中都有重要应用。