【摘 要】
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2018年,我国集成电路产业发展被《政府工作报告》列为实体经济发展第一位,充分体现国家对于发展集成电路的高度重视。在集成电路产业链中,芯片制造生产线被普遍认为是集成电
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2018年,我国集成电路产业发展被《政府工作报告》列为实体经济发展第一位,充分体现国家对于发展集成电路的高度重视。在集成电路产业链中,芯片制造生产线被普遍认为是集成电路产业的基础,而制造技术的集中体现在于半导体设备,尤其是要发展深亚微米技术的产品,需要更高技术、更高精密度的先进工艺设备。近几年,为实现我国集成电路产业发展宏伟目标,我国在建或规划中的晶圆厂数量已超过26座.
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