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超精密定位载物台
超精密定位载物台
来源 :长春光学精密机械学院学报:科技信息版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:DIWUTANG
【摘 要】
:
日本光学计测研究室量子部,近年来利用以小型、大功率、稳定的光源著称的半导体激励YAG激光器,实现了干涉测量的新方法,该方法通过将半导体激励Nd:YAG激光(波长1064nm的红外光)
【出 处】
:
长春光学精密机械学院学报:科技信息版
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
超精密定位载物台
导体激励YAG激光器
干涉测量
光学系统
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日本光学计测研究室量子部,近年来利用以小型、大功率、稳定的光源著称的半导体激励YAG激光器,实现了干涉测量的新方法,该方法通过将半导体激励Nd:YAG激光(波长1064nm的红外光)
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